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MRF®による高精度光学加工

MRF®とは？

MRF®=「磁気粘弾性流体研磨（MagnetoRheological Finishing）」。米国QED Technologies社が開発した高精度研磨技術です。研磨剤を含んだ磁性流体を回転ホイールに流し、磁場・粘度などの物理特性を高度に制御しながら研磨を行う方法で、精度の要求される光学部品の仕上げ研磨、修正研磨に適しています（面精度λ/10～λ/20。平面・球面に対応）。当社ではこのMRF®と独自の加工プログラムで、高精度な光学部品加工に対応いたします。

MRFマシン本体(Q22-XE) ホイール部分（φ7mmレンズを加工中）

応用例

・光学研磨面の修正研磨
・与えられた面形状から所望の形状を創生（100μm以下の修正に対応）
・組みレンズの収差補正
・市販レンズの性能改善
・変更研磨（設計の変更にともなう修正）　など

組みレンズ収差補正の例
これまで難しかった、組みレンズの残存収差（球面収差、非点収差など）の補正が可能です。

パターンA パターンB
① 組みレンズから波面を測定
② ①の結果を元に、平板にMRF®で修正研磨を施し、補正板を作成
③ 組みレンズに②を挿入し、全体の収差を補正
※パターンBは、補正板を入れることを前提に設計した場合の例です。

市販レンズ性能改善の例
市販のレンズも＋MRF®研磨で、オーダーメイド品と同等性能のレンズに。しかも、オーダーメイド品に比べリーズナブルに製作できます。

パターンA パターンB
上の組みレンズ同様、平板を修正研磨した補正板を用いて補正した例 補正板を用いず、市販レンズに直接修正研磨を施して補正した例