大口径レンズ、複雑形状光学系に最適
OptiPro 5軸制御非接触三次元測定システム「UltraSurf」
特長
光学プローブにSTIL「オプティカル・ペン」を採用した、大口径レンズ・複雑形状光学系に最適な高精度非接触測定システムです。回転対称物測定（半球面、非球面、ミサイルヘッド形状など）、二次元X-Y測定が可能です。
| 回転対称光学系の測定イメージ |
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| ミサイルヘッド形状の測定例 | |
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| 内側表面形状の測定 | 外側表面形状の測定 |
仕様
| 軸 | X,Y,Z | B | C |
| 移動量 | 200mm | 360° | 360° |
| 分解能 | 5nm | 0.018second | 0.009second |
| 精度 | 25nm | 0.09second | 0.045second |
| 最大移動速度 | 30mm/s | 6RPM | 6RPM |
※回転対称物測定時は4軸＋1軸（測定軸）、X-Y測定時は3軸＋1軸（測定軸）使用。